Як кераміка з оксиду алюмінію, так і кераміка з карбіду кремнію мають такі фізичні властивості, як компактність, висока твердість і висока зносостійкість, а також гарна термостійкість, чудова механічна міцність, хороша ізоляція та хороша стійкість до корозії в середовищі з високою температурою тощо. Фізичні властивості це є чудовим матеріалом для виготовлення роботизованих рук напівпровідникового обладнання.З точки зору властивостей матеріалу кераміка з карбіду кремнію більше підходить для виготовлення керамічних маніпуляторів, але з точки зору економічних аспектів, таких як ціна матеріалу та складність обробки, керамічні маніпулятори з оксиду алюмінію є економічно ефективнішими.
Час публікації: 13 лютого 2024 р